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滄海- 半導體製造技術

解釋何謂磊晶與其重要性。 2 ... 正光阻顯影液 四甲基氫氧化銨 ... 負和正光阻• 負光阻– 晶圓影像和原來光罩圖案相反– 負光阻曝光而硬化變得不可溶解 • 正光阻– 晶圓 ...

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