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國立臺灣師範大學物理學系研究所碩士論文運用乾式轉印法製作 ...

除PMMA 光阻聚合物時，光阻殘留液體影響到二維材料的電性以及鍵結等特性。而 ... 實驗使用兩層光阻劑S1813 與LoR5B，兩個光阻劑為都為正光阻，正光阻當受.

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