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成功大學電子學位論文服務

所合成之共聚物與光酸發生劑配置成化學增幅負型光阻劑，藉由微影製程之測試，探討各光阻之特性曲線，發現改質後之新穎性單體OBME可以達到理想 ... 2-3-1 何謂光阻劑 18

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