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光阻劑- 微影製程

較便宜. 正光阻. • 經曝光後變可溶. • 經顯影製程，曝. 光部分溶解. • 解析度較佳 ... 負光阻及正光阻. 基片. 光阻. 4. 光阻成分. • 高分子. • 溶劑. 1. 溶解高分子.

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