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半導體制造、Fab以及Silicon Processing的基本知識- 頁3

何謂 濕式蝕刻答：利用液相的酸液或溶劑;將不要的薄膜去除 ... PHOTO POLYIMIDE所用的光阻是正光阻還是負光阻答：目前正負光阻都有，SMIC FAB內用的為負光阻。

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