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微影- 維基百科，自由的百科全書

微影製程中採用的感光物質被稱為光阻，主要分為正光阻和負光阻兩種。正光阻未被光照的部分在顯影后會被保留，而負光阻膠被感光的部分在顯影后會被保留。光阻不僅需要對 ...

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