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什麼是洩漏，如何測量真空系統中的洩漏率- Leybold

簡單的基本要素是洩漏率足夠低，使真空容器中的所需操作壓力、氣體平衡與極限壓力不受影響。因此，與設備氣密性相關的要求越嚴格，所需壓力位準越低。為了能夠定量記錄 ...

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