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低污染工廠
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https://technews.tw/2023/03/28/building-the-compound-semiconductor-supply-chain-with-top-sic-gan-technology-and-resources/
整合SiC/GaN 最強技術與資源!打造無與倫比的第三類半導體 ...
台積電是當前全球最大GaN 晶圓代工廠。 ... 氣態分子微污染物(AMC)一直是影響半導體晶圓製造及代工良率的重要因素之一,有鑑於此,IDM、Fab ...
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「低污染工廠」
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