关键词: 极大规模集成电路; 低介电常数材料; 无机介质; 有机聚合物介质 ... PECVD 系统制造,已制得的SiOC 的介电常数k = 215~310 ,比. 已有的SiOF 低015- 1 ,SiOC 的k ...
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