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突破極限亦或烏龍？浙大學者質疑Nature超低介電常數非晶氮化硼

現有的低k材料主要為SiOk=4)及其衍生物(k=2.8-3.7)。雖然通過引入氣孔可將介電常數進一步降低，但會引起絕緣性能、力學性能及化學穩定性惡化等一系列 ...

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