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在介電質層中產生氣隙以減少rc延遲之方法與設備 - Google ...

在介電阻擋層223中存在氣隙224降低了導線214之間介電材料的有效介電常數，因而降低了導線214間的電容。第10圖示意性示出了具有有效介電常數的氣隙部分和具有k=5.1之阻擋介 ...

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