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介電常數k
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當年度經費: 1990 千元 - 政府研究資訊系統GRB
關鍵字:動態隨機存取記憶體;高介電常數;薄膜;電容器;濺射;製程 ... 為了改善金氧半元件之電特性,堆疊high-k 介電層及Si/Ge 超晶格通道之最佳氮佈植量與退火 ...
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