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低介电常数介质薄膜的研究进展3

都具有较低的k 值。 21 介质的密度和介电常数. 薄膜密度(或单位体积内的分子数N) 对介电. 常数的影响远大于分子极化的影响,降低薄膜密度. 可使其介电常数接近极限值ε0 ...

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