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SiCOH 低介电常数薄膜的性质和键结构分析 - 物理学报

关键词：低介电常数，SiCOH 薄膜，化学键结构 ... 材料的k 值应小于2.0［2］ . 目前能够获得超低k 的 ... 图2 SiCOH 薄膜介电常数k 和膜厚的相对变化率随热处理温.

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