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104319259 一种超低介电常数薄膜的制作方法 - WIPO ...

本发明公开了一种超低介电常数薄膜的制作方法，通过先对沉积形成的低介电常数薄膜 ... 介电常数薄膜，既能避免介质薄膜倒线的现象，又能使介质薄膜的有效介电常数(K值) ...

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