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超低介电常数的SiCOH薄膜及其制造方法 - Google

O的低介电常数绝缘体。除非另有说明，本申请中所说的所有k值都是与真空相关测量得到的。 [0003] 比如k值为2. O的聚四氟乙烯（PTFE)就是这样一种材料。然而，当这些介电 ...

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