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當年度經費： 611 千元 - 政府研究資訊系統GRB

關鍵字：三元金屬摻雜氧化鋯薄膜；XPS；介電常數；漏電流；平帶電壓偏移(Flatband ... 若進行順利，將會取得有較高介電係數k 值鉿矽氧氮化合物介電層的最佳參數。

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