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低介电常数(low2k) 介质在ULSI 中的应用前景 - 电子学报

关键词: 极大规模集成电路; 低介电常数材料; 无机介质; 有机聚合物介质. 中图分类号: TN47 文献标识码: A ... 材料,用现有工艺可制得介电常数k 值为215～219 的HSQ.

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