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低溫微波退火對高介電係數介電層之影響及 - CHUR - 中華大學

Al2O3 由於k 值只有9，. 不足以使等效氧化層厚度(EOT) 做到1.0nm 以下。La2O3 和Y2O3 都有較高的k 值，. 分別為30 和15，但它們在傳統的CMOS 製程中，由於會 ...

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