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新型低介電材料之合成與應用之研究研究成果報告(精簡版)

低介電材料(low-k materials)一般是指介電常數k值低於3.9的材料，例如無機的二氧化. 矽、有機的含氟樹脂，以及所謂未來世代的超低介電材料(ultralow- k)：多孔性介電 ...

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