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高介電常數蒸鍍材料

k值 越高，電晶體之電容值也越高，使得電晶體能正確的切換於”開”或”關”狀態。 目前有許多有希望取代SiO2 作為閘極氧化層的的高介電常數材料，如二元氧化物的Si3N4、Al2O3 ...

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