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高介電常數鈦酸鍶基閘極氧化物及元件的製作、結構與特性研究(II)

涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 ... 本研究計畫採用具有高介電常數之鈦酸鍶基薄膜作為閘極氧化層之應用研究，鈦酸鍶薄膜的介電常數較二氧化鋯及 ...

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