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奈米科技研究中心 - 台灣聯合大學系統

... 下，促使四校建構多項核心設施，包括：清大本部中心的半導體製程、MEMS製程、奈米微影壓印系統、多探針奈米電性量測系統、生物式多功能原子力顯微鏡；交大奈科中心 ...

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