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蝕刻技術

temperature, … ▫ Etch Selectivity (蝕刻選擇比, S=r. 1. /r. 2. ): ... 2. 要蝕刻, 氧化膜的蝕刻速率. 是0.40μm/min, 氧化膜對矽的蝕刻選擇比為25比1, 如果.

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