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張韶玲。市立高雄高工。資訊二甲PDF created with pdfFactory

之，晶圓的表面及角落的污損區域則藉化學蝕刻去除。 ... 二氧化矽層可使用不同的附著方法，其中低 ... 高溫附著(900℃)，二氧化矽由二氯矽烷(SiCl2H2)與笑氣(N2O).

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