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二氧化矽蝕刻液
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Spin-On Glass - 旋寶好化學
... 近似二氧化矽的物質在晶片上,讓表面輪廓比較平滑達到局部平坦化的目的,使後續的製程得以順利進行。 作為無機材料,SOG 具有出色的抗等離子蝕刻和對矽的選擇比。
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