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金屬蝕刻液(Metal Etchant)

鈦鎢, H2O2, 標準鈦鎢蝕刻液. 鈦鎢, TiW Etch-833, UBM 鈦鎢蝕刻液(不產生放熱效應). 矽, Si Iso-Etch 1-20-5, 對氧化矽具選擇性，且不蝕刻氮化矽.

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