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boe 蝕刻緩衝氧化物蝕刻 - Ezep

一般半導體製程中在蝕刻二氧化矽通常是用BOE做為蝕刻液，溢流清洗各位板友大家 ... 以氫氟酸及氟化銨（hf/nh4f; boe or bhf）所形成之緩衝溶液來蝕刻二氧化矽層，固 ...

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