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濺鍍靶材：銅、鉻、鎢、鈦、二氧化矽、銀、鎳鉻 ... 水平或垂直式搖擺陰極、鍍液循環過濾 ... 蝕刻技術. ☆ 感應耦合電漿蝕刻機（ICP）. ‧高密度電漿蝕刻.

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