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光柵在氮化矽薄膜上的應用 - 材料世界網

其中氮化矽蝕刻的輪廓和深度的控制，可利用濕式蝕刻或乾式蝕刻兩種方式完成，如濕式蝕刻利用二氧化矽蝕刻液(Buffer HF; BHF or BOE)和氫氧化鉀(KOH)， ...

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