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利用熱氧法改善矽晶圓之表面金字塔圓潤角結構Using Thermal ...

验中利用<100>和<10>兩種矽晶圓部分區域舖上二. 做為鹼性蝕刻液,文中提到選用碳酸钠的優勢在於更. 氧化矽做為保護,並比較在不同鹼性溶液條件下的触.

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