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第三章應用理論與技術 - 國立臺灣師範大學

(a) 薄膜蝕刻終止(thin film etch stop). 如圖3-7 所示，薄膜蝕刻終止係指將晶片蝕刻到最後，終止於其它不會被. 蝕刻液所影響的薄膜，這層薄膜可能是二氧化矽、氮化 ...

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