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二次離子質譜儀／Secondary Ion Mass Spectrometer

二次離子質譜 儀是利用帶有特定能量的聚焦離子束撞擊在真空下的固態樣品，使表面的物質脫離樣品表面且離子化後，經由電場引導至質譜儀進行分析，以獲得不同質荷比(M/Z) ...

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