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乾蝕刻設備
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晶圓製程中的乾蝕刻與濕蝕刻是什麼? - 品化科技股份有限公司
光阻薄膜的厚度則由光阻劑黏度或光阻劑中的溶媒種類以及塗布機的轉速與轉動時間而定。 光阻性樹脂由於具有感光性,其特性依溫度、濕度而有微妙的關係, ...
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