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LED高密度電漿蝕刻機PSS Etcher - 聚昌科技

利用感應式射頻電源與通入反應氣體產生的電漿，對材料，例如: 三氧化二鋁、光阻等進行乾式蝕刻。可用於整批式2”, 4”, 6”晶圓乾蝕刻製程。

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