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變壓耦合式電漿製程設備之蝕刻率批片控制

電漿技術在半導體製程中廣泛被應用，例如乾蝕刻、薄膜沈積、去光阻等等都與電漿技術相關。隨著半導體工業的技術的進步積體電路的尺寸越做越小，所以蝕刻製程是否能精準 ...

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