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Lam2300金屬薄膜與介電質乾蝕刻機技術資料

Layer Etch Chamber)一組，有獨立控制上電. 極與下電極之輸出功率，主要蝕刻項目材料為. 邏輯製程蝕刻等Metal Pad,Metal Line結構之. 設備，其中蝕刻金屬薄膜層材料為鋁(Al) ...

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