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濕蝕刻設備 - 中文百科知識

濕蝕刻設備，包括呈順序排布的：其包括呈順序排布的：一承載與緩衝區，一第一蝕刻室，一採用高壓水柱 ... 蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wet etching)和乾蝕刻(dry etching).

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