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乾蝕刻 是以電漿蝕刻(Plasma Etching)，而非濕式的溶液，電漿中離子的物理性 ... 的運行過程中會產生電磁波而導致電訊號的雜訊，EMI即是評估對週邊設備帶來問題的指標。

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