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蝕刻輪廓

• 三基本步驟：蝕刻、沖洗、旋乾. 8. 濕式蝕刻的應用. • 濕式蝕刻不可在當CD < 3 µm ... 濕式蝕刻的缺點. • 等向性的蝕刻輪廓. • 不能處理小於3µm的圖案. • 高度化學物之使用.

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