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乾蝕刻缺點
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什麼是蝕刻(Etching)?
在濕蝕刻中是使用化學溶液,經由化學反應以達到蝕刻的目的,而乾蝕刻通常是一種電漿蝕刻(plasma etching),電漿蝕刻中的蝕刻的作用,可能是電漿中離子撞擊 ...
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