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半導體產業營業秘密與智慧財產權之理論與實務

... 蝕刻。反之,薄膜層上方沒有光阻保護的區域會在蝕刻製程中被移除掉如圖 3.14(d) ... 乾蝕刻(dry etching)。濕蝕刻相較於乾蝕刻便宜許多且有高的蝕刻速率,因此濕蝕刻廣泛地 ...

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