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Chap9 蝕刻(Etching)

◇乾蝕刻的非等向性主要是利用粒子轟擊的物理現象進行，. 這種粒子轟擊的現象，不但可以在被蝕刻的薄膜上進行，. 也可以在光阻上發生。 ◇蝕刻好壞的依據. ➢ 非等向性. ➢ ...

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