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離子蝕刻 - dkphoto

z乾蝕刻(dry etching) 小於millitorr millitorr 範圍壓力較高物理濺擊或 ... 小、範圍，缺點是不具有非等向性蝕刻的效果。. 『反應式離子蝕刻法』（RIE ...

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