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乾蝕刻機台原理的費用及心得，PTT和網友分享

這種機制跟ICP-RIE中Bosch Process所生成Passivaiton layer拿來保護側壁的原理很接近。運用得宜，亦是用來保護側壁，達成非等向性蝕刻的好方法。 但缺點就包含蝕刻速率太低 ...

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