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乾蝕刻

蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wet etching)和乾蝕刻(dry etching)兩類。. 因為薪水蝕刻速率快，缺點是圖形的轉移不精酎，峴此製程的良率尬較低。然而近年來 ...

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