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【蚀刻升级篇】剖析干蚀刻和湿蚀刻的作用、制程及其原理

湿蚀刻是借适当的腐蚀性溶液对所欲去除的膜层利用化学反应来去除的制程。 优点：设备费用低廉，制程单纯且量产速度快等。 缺点：CD loss较大，不易将线宽 ...

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