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乾蝕刻濕蝕刻比較
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半導體製程技術 - 聯合大學
選擇性蝕刻是將光阻上的IC設計圖案轉移到晶圓表面 ... 基本濕式蝕刻製程步驟. 旋乾. 濕蝕刻. 超純水洗滌 ... 乾式蝕刻和濕式蝕刻的比較. 濕式蝕刻. 乾式蝕刻.
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