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乾蝕刻濕蝕刻比較
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Re: [問題] BOE蝕刻4um圓的二氧化矽- 看板NEMS
BOE對SiO2 的蝕刻速率與SiO2 的製成方式"高度相關"。 ... 半導體廠根據濕蝕刻跟乾蝕刻特性的不同,比較優劣之後一直是在使用乾蝕刻的方式來做此一 ...
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