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乾蝕刻濕蝕刻比較
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微機電系統
然後用濕蝕刻將蝕刻光罩(etch mask)下物質蝕刻之,以形成尖點,如圖8。 圖8. 4.乾蝕刻與濕蝕刻之比較:濕蝕刻與乾蝕刻各有優缺點,其所使用之設備大. 異其趣,濕蝕刻 ...
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